Så här fungerar en elektronisk vakuumpump i allmänhet:
Elektronstrålepumpning:
1. Elektronpistol :En elektronkanon genererar en fokuserad stråle av högenergielektroner.
2. Vakuumkammare :Elektronstrålen riktas in i en vakuumkammare som innehåller den gas eller ånga som behöver evakueras.
3. Kollision :När elektronstrålen interagerar med gaspartiklarna överför den sin kinetiska energi till dem, vilket gör att de rör sig snabbt och kolliderar med varandra.
4. Jonisering :Genom kollisioner kan vissa gaspartiklar joniseras, förlora elektroner och skapa positivt laddade joner.
5. Extraktion :Dessa joner attraheras sedan till negativt laddade elektroder eller ytor i vakuumkammaren och dras bort från gasen, vilket effektivt tar bort dem från systemet.
Jonfälla pumpning:
1. Jonkälla :En jonkälla, vanligtvis en elektronstråle eller plasma, genererar joner inuti vakuumkammaren.
2. Elektromagnetiska fält :Vakuumpumpen använder elektromagnetiska fält (ofta en kvadrupolmasspektrometer) för att fånga och begränsa de genererade jonerna inom ett specifikt område.
3. Selektiv borttagning :Pumpen kan selektivt avlägsna specifika gasarter eller joner genom att justera de elektromagnetiska fälten eller lägga på spänning. Detta möjliggör selektiv filtrering och rening av gaser.
4. Pumpning :När jonerna är inneslutna och ackumuleras i fällan, minskar gastrycket inuti vakuumkammaren, vilket skapar ett högt vakuum.
Elektroniska vakuumpumpar används ofta i olika vetenskapliga, industriella och forskningsapplikationer där ett rent, oljefritt och ofta högkvalitativt vakuum krävs. De är särskilt fördelaktiga i system med ultrahögt vakuum (UHV) där konventionella vakuumpumpar kan införa föroreningar och hindra den önskade nivån av vakuum.
Elektroniska vakuumpumpar erbjuder flera fördelar, såsom:
1. Ren och oljefri drift :De kräver inga smörjmedel eller tätningsmaterial, vilket eliminerar risken för olja tillbakaströmning eller kontaminering av vakuumsystemet.
2. Tyst drift :Elektroniska vakuumpumpar är i allmänhet mycket tystare än mekaniska pumpar eftersom de inte involverar rörliga delar eller genererar överdrivna vibrationer.
3. Kompakt och lätt :Elektroniska vakuumpumpar är ofta mer kompakta och lätta jämfört med traditionella mekaniska pumpar, vilket gör dem lämpliga för applikationer med begränsad utrymme.
4. Kontrollerbarhet :De erbjuder exakt kontroll över pumpprocessen och vakuumnivån, vilket möjliggör skräddarsydda vakuumförhållanden.
Det är dock värt att notera att elektroniska vakuumpumpar kan vara dyrare och kräver specialiserad expertis för underhåll och drift. De tenderar också att ha lägre pumphastigheter jämfört med mekaniska pumpar.
Sammanfattningsvis använder en elektronisk vakuumpump elektroniska medel, såsom elektronstrålar eller jonfällor, för att skapa ett vakuum genom att selektivt avlägsna gaspartiklar eller joner från en kammare, vilket erbjuder rena, oljefria och kontrollerade vakuumförhållanden för olika vetenskapliga och industriella applikationer.
